P63.XY二維XY向壓電納米定位臺(tái) 6.8μm價(jià)格直驅(qū)式壓電平移臺(tái)，是二維XY軸運(yùn)動(dòng)壓電納米定位臺(tái)，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)原理，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度，具有非常高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著重要的作用。

P63.XY二維XY向壓電納米定位臺(tái) 6.8μm價(jià)格

特性

• 1~3維自由組合                   • 位移行程6.8μm                   • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間                   • 承載0.5kg                   •  重復(fù)定位精度可達(dá)納米級(jí)

小體積、高精度、響應(yīng)速度快		傳感器類型	頻率負(fù)載曲線
P63系列壓電納米定位臺(tái)的特點(diǎn)是高精度、體積小巧，P63.XY二維壓電納米定位臺(tái)的尺寸僅為30×30×30mm（一維X軸運(yùn)動(dòng)壓電納米定位臺(tái)尺寸為30×30×21mm），非常易于集成到掃描儀器中。 P63系列壓電納米定位臺(tái)是高精度納米級(jí)定位系統(tǒng)，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，具有低慣性的特點(diǎn)，且響應(yīng)時(shí)間可快至0.3ms，可選擇配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率的高速掃描。